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- 型號(hào)1
本公司的旋轉(zhuǎn)陰極端頭可以安裝在任何鍍膜生產(chǎn)線上或者替代現(xiàn)有的陰極端頭。 安裝在新系統(tǒng)上 可以單獨(dú)銷售陰極端頭，陰極端頭維護(hù)備件和整套旋轉(zhuǎn)陰極系統(tǒng)，包含驅(qū)動(dòng)及相關(guān)功能—即裝即用。 替換現(xiàn)有的陰極端頭 適用于任何長度的系統(tǒng) 不需要對(duì)陰極蓋板進(jìn)行任何改造 可利用現(xiàn)有設(shè)施，完美匹配阿登納鍍膜線，萊寶鍍膜線和國產(chǎn)的各種鍍膜線 不需要更換電源，布?xì)庀到y(tǒng)或者陽極 適用于現(xiàn)有的靶材設(shè)計(jì)
本公司的旋轉(zhuǎn)陰極端頭可以安裝在任何鍍膜生產(chǎn)線上或者替代現(xiàn)有的陰極端頭。
安裝在新系統(tǒng)上
? 可以單獨(dú)銷售陰極端頭，陰極端頭維護(hù)備件和整套旋轉(zhuǎn)陰極系統(tǒng)，包含驅(qū)動(dòng)及相關(guān)功能—即裝即用。
替換現(xiàn)有的陰極端頭
? 適用于任何長度的系統(tǒng)
? 不需要對(duì)陰極蓋板進(jìn)行任何改造
? 可利用現(xiàn)有設(shè)施，完美匹配阿登納鍍膜線，萊寶鍍膜線和國產(chǎn)的各種鍍膜線
? 不需要更換電源，布?xì)庀到y(tǒng)或者陽極
? 適用于現(xiàn)有的靶材設(shè)計(jì)
本陰極的特性
? 靶筒用卡環(huán)方式固定，安裝快捷方便不會(huì)卡死
? 穩(wěn)定持久的真空密封：可確保陰極在高功率高電流的情況下維持真空度的穩(wěn)定，每對(duì)端頭在出廠前都經(jīng)過嚴(yán)格的抽真空測試，漏率小于1×10-10mbar l/s。陰極水密封耐壓高達(dá)125 psi，使用壽命長，可達(dá)5,000,000轉(zhuǎn) , 確保在連續(xù)一年的使用期內(nèi)密封無失效。
? 嚴(yán)格的品質(zhì)保證：我們的端頭采用高精度數(shù)控設(shè)備加工，具有很高的制造精度和裝配精度。所有的密封件、軸承件和導(dǎo)電絕緣組件全部進(jìn)口，具有更長的使用壽命和穩(wěn)定性。
? 標(biāo)準(zhǔn)陰極蓋板安裝方式，適用于現(xiàn)在國內(nèi)外幾乎所有的大面積磁控濺射鍍膜線
? 適用于各種靶材設(shè)計(jì)，可以安裝噴涂靶，幫定靶和澆鑄靶
? 先進(jìn)的靶筒排水特性，通過吹水幾乎可以將靶筒內(nèi)的水完全排干
? 最大化的膜層沉積速率：最大操作功率可以達(dá)到120KW，最大工作電流可達(dá)到400A（30KHz時(shí)）
