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旋轉(zhuǎn)陰極 -
旋轉(zhuǎn)陰極
- 型號SK001
升級平面陰極到旋轉(zhuǎn)陰極 在不增加真空室的情況下，提高現(xiàn)有鍍膜生產(chǎn)線的產(chǎn)能和質(zhì)量。 減少因靶材打弧放電造成的工藝不穩(wěn)定和工件污染。 提高靶材利用率，節(jié)省靶材成本。
升級平面陰極到旋轉(zhuǎn)陰極
? 在不增加真空室的情況下，提高現(xiàn)有鍍膜生產(chǎn)線的產(chǎn)能和質(zhì)量。
? 減少因靶材打弧放電造成的工藝不穩(wěn)定和工件污染。
? 提高靶材利用率，節(jié)省靶材成本。
本陰極的優(yōu)點
? 高可靠性
? 最簡便的安裝或改造
? 可實現(xiàn)快速換靶
? 可以允許較大的靶材長度誤差
? 超低的維護成本
? 可適用于任何靶材供應商的靶材
? 無感應發(fā)熱導致的不良影響
? 水流管道經(jīng)過防腐處理，可以防止微流腐蝕
- 上一條ENDBLOCK
- 下一條旋轉(zhuǎn)陰極端頭維護
